第273章 第一道光刻
“嗡——”
一声沉稳而有力的电流通过线圈的声音,在寂静的厂房里骤然响起。
这声音不像眾人担心的那样刺耳,反而带著一种令人心安的厚重质感。
操作台上的指示灯一排排地依次亮起,绿色的光芒映照在龙建国平静的脸上。
“崑崙一號”的主轴开始以极低的速度缓缓旋转起来。
紧接著,工作檯在伺服电机的驱动下,开始沿著x轴和y轴平稳地移动。
整个过程如丝般顺滑,没有丝毫的抖动和噪音。
只听得到伺服电机发出的轻微“嘶嘶”声,和导轨上滚珠滚动时那几乎微不可闻的细碎声响。
“动了!动了!”
人群中,不知是谁发出了一声压抑的惊呼。
所有人的心都提到了嗓子眼。
李卫国和王浩更是牢牢地盯著各自面前的监控屏幕。
“主轴跳动,0.1微米!”
“x轴定位精度,误差0.2微米!”
“y轴重复定位精度,误差0.15微米!”
软体团队的工程师们看著屏幕上那些不断跳出、代表著工具机实时运行状態、堪称恐怖的数据,一个个都惊得张大了嘴巴。
这些数据已经全面超越了他们仿製的那台德国dmg-50样机!
“天吶……我们,我们成功了?”一个年轻的工程师喃喃自语。
“闭嘴!测试还没结束!”王浩低声喝道,但他的声音里也带著掩饰不住的颤抖。
真正的考验是实际加工。
根据测试计划,第一次“开光”要加工的,是一个极其考验工具机综合性能的零件——一块用於光刻机工件台的超平面反射镜基座。
这块巴掌大小、用特种陶瓷烧制而成的基座,要求的平面度是0.5微米。
一块经过粗磨的陶瓷基座被自动夹具牢牢地固定在了工作檯上。
主轴上换上了一支高速金刚石磨头。
“嗡——”
主轴的转速开始急剧提升。
一万转,两万转,五万转!
最终稳定在了惊人的十万转每分钟!
在如此高的转速下,整个工具机依然稳如泰山。只有凑近了才能听到主轴发出蜜蜂振翅般的高频蜂鸣。
“开始加工!”
隨著王浩在计算机上敲下最后一行指令,高速旋转的金刚石磨头带著一往无前的气势,缓缓地靠近了那块黑色的陶瓷基座。
“滋——”
磨头与陶瓷表面接触的瞬间,溅起了一串细微得如星尘般的白色火花。
一股淡淡的陶瓷被灼烧的焦糊味在空气中瀰漫开来。
所有人都屏住了呼吸。
只见那支磨头在软体的精確控制下,以一种肉眼难以分辨的玄奥轨跡,在陶瓷基座的表面来回往復地游走著。
它每走过一遍,那块原本粗糙的黑色表面就变得更加光滑、更加明亮。
五分钟后。
磨头缓缓抬起,停止了旋转。
工作檯载著那块加工完成的基座,平稳地移动到了检测区。
一名负责检测的老师傅戴上白手套,小心翼翼地將那块还带著温热的基座取了下来。
他將基座放到了一台从德国进口的、最高精度的雷射干涉仪上。
这是最后的审判。
所有人的目光都聚焦在那台连接著雷射干涉仪的显示器屏幕上。
老师傅的手有些颤抖地按下了检测按钮。
屏幕上开始出现复杂的干涉条纹。计算机正在根据条纹的变化,计算出这块基座表面的最终平面度。
一秒,两秒,十秒……
时间被无限拉长。
李卫国感觉自己的心臟都快要跳出胸膛了。
终於,屏幕上的条纹停止了变化。
一个鲜红的、最终的检测结果跳了出来。
0.1μm!
当看清屏幕上那个数字的瞬间,整个厂房陷入了一片死一般的寂静。
所有人都像是被施了定身法,一动不动地看著那个足以让任何一个从事精密製造的人都为之疯狂的数字。
0.1微米!
比设计要求高了整整五倍!
这已经不是简单的超越德国。
这是碾压!
“成功了……”
不知是谁用梦囈般的声音说了一句。
下一秒。
“我们成功了!!!”
“噢——!!!”
雷鸣般的、震耳欲聋的欢呼声,好像火山喷发一般,瞬间席捲了整个厂房!
年轻的工程师们把手里的图纸和工具扔向空中,互相拥抱、嘶吼、跳跃著。
几个白髮苍苍的老师傅再也控制不住自己的情绪,抱著身边的工具机,像个孩子一样嚎啕大哭。
他们这辈子受够了没有好工具机、只能靠一双手跟洋人较劲的憋屈。
今天,他们终於用上了我们中国人自己造的、世界上最好的工具机!
李卫国双腿一软,差点瘫倒在地。他被旁边的王浩一把扶住。两个大男人看著彼此通红的眼睛,泪水再也抑制不住地夺眶而出。
罗部长激动得满脸通红,一个劲地拍著龙建国的手臂:“建国!建国!你看到了吗!0.1微米!我们做到了!我们真的做到了!”
而舒马赫,这位见惯了大场面的德国专家,此刻也呆呆地站在那里。
他看著屏幕上那个刺眼的“0.1μm”,又看了看那台艺术品般的“崑崙一號”,嘴里不停地用德语喃喃自语:
“mein gott… das ist unm?glich… das ist ein wunder…”
(我的上帝……这不可能……这是一个奇蹟……)
他忽然想起了龙建国刚才说的那句话。
“在中国,我们不信上帝。我们信的,是人定胜天!”
他转过头,用一种看“神”的目光,看著那个从始至终都保持著平静的年轻中国男人。
他终於明白。
他来到的,是一个能够创造奇蹟的国度。
而他,正在亲眼见证这个奇蹟的发生。
一声沉稳而有力的电流通过线圈的声音,在寂静的厂房里骤然响起。
这声音不像眾人担心的那样刺耳,反而带著一种令人心安的厚重质感。
操作台上的指示灯一排排地依次亮起,绿色的光芒映照在龙建国平静的脸上。
“崑崙一號”的主轴开始以极低的速度缓缓旋转起来。
紧接著,工作檯在伺服电机的驱动下,开始沿著x轴和y轴平稳地移动。
整个过程如丝般顺滑,没有丝毫的抖动和噪音。
只听得到伺服电机发出的轻微“嘶嘶”声,和导轨上滚珠滚动时那几乎微不可闻的细碎声响。
“动了!动了!”
人群中,不知是谁发出了一声压抑的惊呼。
所有人的心都提到了嗓子眼。
李卫国和王浩更是牢牢地盯著各自面前的监控屏幕。
“主轴跳动,0.1微米!”
“x轴定位精度,误差0.2微米!”
“y轴重复定位精度,误差0.15微米!”
软体团队的工程师们看著屏幕上那些不断跳出、代表著工具机实时运行状態、堪称恐怖的数据,一个个都惊得张大了嘴巴。
这些数据已经全面超越了他们仿製的那台德国dmg-50样机!
“天吶……我们,我们成功了?”一个年轻的工程师喃喃自语。
“闭嘴!测试还没结束!”王浩低声喝道,但他的声音里也带著掩饰不住的颤抖。
真正的考验是实际加工。
根据测试计划,第一次“开光”要加工的,是一个极其考验工具机综合性能的零件——一块用於光刻机工件台的超平面反射镜基座。
这块巴掌大小、用特种陶瓷烧制而成的基座,要求的平面度是0.5微米。
一块经过粗磨的陶瓷基座被自动夹具牢牢地固定在了工作檯上。
主轴上换上了一支高速金刚石磨头。
“嗡——”
主轴的转速开始急剧提升。
一万转,两万转,五万转!
最终稳定在了惊人的十万转每分钟!
在如此高的转速下,整个工具机依然稳如泰山。只有凑近了才能听到主轴发出蜜蜂振翅般的高频蜂鸣。
“开始加工!”
隨著王浩在计算机上敲下最后一行指令,高速旋转的金刚石磨头带著一往无前的气势,缓缓地靠近了那块黑色的陶瓷基座。
“滋——”
磨头与陶瓷表面接触的瞬间,溅起了一串细微得如星尘般的白色火花。
一股淡淡的陶瓷被灼烧的焦糊味在空气中瀰漫开来。
所有人都屏住了呼吸。
只见那支磨头在软体的精確控制下,以一种肉眼难以分辨的玄奥轨跡,在陶瓷基座的表面来回往復地游走著。
它每走过一遍,那块原本粗糙的黑色表面就变得更加光滑、更加明亮。
五分钟后。
磨头缓缓抬起,停止了旋转。
工作檯载著那块加工完成的基座,平稳地移动到了检测区。
一名负责检测的老师傅戴上白手套,小心翼翼地將那块还带著温热的基座取了下来。
他將基座放到了一台从德国进口的、最高精度的雷射干涉仪上。
这是最后的审判。
所有人的目光都聚焦在那台连接著雷射干涉仪的显示器屏幕上。
老师傅的手有些颤抖地按下了检测按钮。
屏幕上开始出现复杂的干涉条纹。计算机正在根据条纹的变化,计算出这块基座表面的最终平面度。
一秒,两秒,十秒……
时间被无限拉长。
李卫国感觉自己的心臟都快要跳出胸膛了。
终於,屏幕上的条纹停止了变化。
一个鲜红的、最终的检测结果跳了出来。
0.1μm!
当看清屏幕上那个数字的瞬间,整个厂房陷入了一片死一般的寂静。
所有人都像是被施了定身法,一动不动地看著那个足以让任何一个从事精密製造的人都为之疯狂的数字。
0.1微米!
比设计要求高了整整五倍!
这已经不是简单的超越德国。
这是碾压!
“成功了……”
不知是谁用梦囈般的声音说了一句。
下一秒。
“我们成功了!!!”
“噢——!!!”
雷鸣般的、震耳欲聋的欢呼声,好像火山喷发一般,瞬间席捲了整个厂房!
年轻的工程师们把手里的图纸和工具扔向空中,互相拥抱、嘶吼、跳跃著。
几个白髮苍苍的老师傅再也控制不住自己的情绪,抱著身边的工具机,像个孩子一样嚎啕大哭。
他们这辈子受够了没有好工具机、只能靠一双手跟洋人较劲的憋屈。
今天,他们终於用上了我们中国人自己造的、世界上最好的工具机!
李卫国双腿一软,差点瘫倒在地。他被旁边的王浩一把扶住。两个大男人看著彼此通红的眼睛,泪水再也抑制不住地夺眶而出。
罗部长激动得满脸通红,一个劲地拍著龙建国的手臂:“建国!建国!你看到了吗!0.1微米!我们做到了!我们真的做到了!”
而舒马赫,这位见惯了大场面的德国专家,此刻也呆呆地站在那里。
他看著屏幕上那个刺眼的“0.1μm”,又看了看那台艺术品般的“崑崙一號”,嘴里不停地用德语喃喃自语:
“mein gott… das ist unm?glich… das ist ein wunder…”
(我的上帝……这不可能……这是一个奇蹟……)
他忽然想起了龙建国刚才说的那句话。
“在中国,我们不信上帝。我们信的,是人定胜天!”
他转过头,用一种看“神”的目光,看著那个从始至终都保持著平静的年轻中国男人。
他终於明白。
他来到的,是一个能够创造奇蹟的国度。
而他,正在亲眼见证这个奇蹟的发生。