第352章 130纳米製程情况
马宇腾他放下手中的水杯。
目光从那些喜人的数据上移开，落在了肖光楠的脸上。
“你之前的匯报文件中提到，湾湾的台积电，在最近已经通过採用浸没式光刻技术，成功实现了90纳米製程的量產突破？”
“是的，我已经通过行业內的关係確认了这个消息的真实性。”
这个消息，对於半导体行业之外的人来说，或许只是一行冰冷的技术新闻。
但对於肖光楠这样的从业者而言，不啻於一声惊雷。
这意味著，在先进位程的赛道上，领跑者又一次拉开了与追赶者的距离。
马宇腾的声音再次响起，带著不容置疑的压迫感。
“我们不能永远停留在成熟製程上，靠著关联公司的订单过日子，那最后只会变成价格战的红海。”
“所以，我们的下一代製程研发，现在是怎样的情况?”
肖光楠深吸一口气，调出了另一份ppt。
这份ppt的標题是——“130纳米工艺製程研发进展”。
“马总，您的顾虑，我们已经意识到了。在保证现有生產任务的同时，技术部已经成立了专项攻关小组，进行130纳米製程的开发。”
肖光楠指著屏幕上的一张设备採购单。
“我们从尼康採购了一台nsr-s307e arf扫描式光刻机，这是开发130纳米工艺的关键设备。”
“之后，通过这台光刻机进行了新製程工艺的开发，只是良品率……”
马宇腾的目光落在报告的最后一页，那里有一张醒目的良率统计图。
那条代表著良率的曲线，在经歷了初期的几次小幅爬升后，就死死地停在了一个数字上，再也无法寸进。
百分之三十。
一个根本不具备任何商业量產价值的数字。
马宇腾抬起头，看著肖光楠，眼神平静，却仿佛能穿透人心。
“原因是什么？”
肖光楠的嘴唇动了动，镜片后的双眼流露出一丝技术人员面对难题时的凝重与无奈。
他走到白板前，调出了一张更为复杂的工艺流程图。
“问题是系统性的。”
他指著图上一个被红框標记出来的区域。
“这是在进行柵极刻蚀的环节。我们的180纳米用的是成熟的干法刻蚀。”
“但到了130纳米，线宽急剧缩小，等离子体对光刻胶的损伤变得非常严重，导致刻蚀后的柵极侧壁形貌控制不住，出现大量的『脚丫』缺陷。”
他又切换到另一张电子显微镜下的扫描图片，图片上，本该是笔直的线条，底部却出现了不规则的凸起，如同人的脚丫。
“我们尝试了调整刻蚀气体的配比，优化等离子体的功率，甚至更换了光刻胶的供应商，但效果都不理想。”
“还有铜互连工艺。”肖光楠的声音愈发沉重。
“130纳米开始，必须使用电阻率更低的铜来代替铝作为互连线。”
“但铜原子非常容易在硅片中扩散，造成器件失效。我们需要沉积一层足够致密且均匀的阻挡层，比如氮化鉭。”
“但我们新採购的尼康光刻机，和原有的pvd（物理气相沉积）设备，在工艺整合上出现了匹配问题。”
“老师傅们的经验都在原有的设备体系上，对於这套新的组合，他们也需要时间摸索。”
肖光楠一口气说了很多，全是专业的技术术语。
马宇腾安静地听著，没有打断。
他虽然不是半导体製造的专家，但凭藉著两世的知识储备和对產业链的理解，他能听懂肖光楠话里的核心。
缺的不是设备，也不是理论，而是將理论和设备结合起来，实现稳定大规模量產的实践经验。
也就是“know-how”。
这支从摩托罗拉继承过来的团队，在180纳米的阵地上是经验丰富的老兵。
但到了130纳米这条新的战壕里，他们也成了需要摸著石头过河的新兵。
而那些年轻的工程师，现在还处在“看”和“学”的阶段，指望他们解决这种级別的难题，无异於天方夜谭。
这就是雷霆晶片目前最大的瓶颈。
“所以，你们的结论是什么？”马宇腾问。
肖光楠沉默了片刻，似乎在组织语言。
他关掉了白板上的技术图表，转过身，郑重地看著马宇腾。
“马总，闭门造车是行不通的。半导体製程的提升，每一步都是在烧钱和烧时间。”
“我们或许花上一年，甚至更久的时间，也能把良率啃下来。但是，市场等不了我们那么久。”
他停顿了一下，拋出了自己的建议。
“据我所知，国內的东芯国际，他们的130纳米製程，早在两年前就已经实现了稳定量產，现在听说良率已经能做到百分之九十五以上，在国际上也属於是比较先进的水平。”
“我的建议是，我们是否可以尝试，以技术交流的名义，向他们『请教』。”
话音落下，办公室里陷入了长久的寂静。
马宇腾没有说话，只是端起那杯已经凉透了的纯净水，喝了一口。
向东芯国际请教？
好处是显而易见的。
这是解决当前困境最快、最高效的路径。直接跳过漫长的摸索期，让雷霆晶片的130纳米產线迅速具备战斗力。
但问题是，他们雷霆晶片与东芯国际是竞爭对手。
虽然目前他们目前的製程比对方要落后一代，业务交叉还不多。
但一个有志於成为国內晶片製造龙头的企业，会心甘情愿地去帮助竞爭对手提升製程工艺来与自己竞爭吗？
一丝若有若无的烦躁感在马宇腾心底升起。
就在这时，当东芯国际这个名字在他脑海中盘旋时，另一个名字，如同闪电般划过。
张如晶张老。
这个被誉为“中国半导体之父”的男人，以及他未来几年后在那场著名的东芯国际人事地震和与台积电官司中的黯然离场。
马宇腾的瞳孔猛地收缩了一下。
一瞬间，一个大胆的念头，在他心里轰然成型！
去见张如晶。
但目的，不再是单纯的为了130纳米的工艺。
在东芯国际还处於蓬勃发展，但內部矛盾已然在酝酿的此刻，提前与张老建立联繫。
等到未来那场风暴来临时，无论是捡漏那些经验丰富的顶尖工程师，还是承接对方动盪中散落的技术……
都大有可为！
想到这里，马宇腾心中那丝烦躁烟消云散。
他抬起头，看向依旧在等待他决断的肖光楠，表情已经恢復了平静。
“你说的有道理。”
“这件事，我会安排。”
目光从那些喜人的数据上移开，落在了肖光楠的脸上。
“你之前的匯报文件中提到，湾湾的台积电，在最近已经通过採用浸没式光刻技术，成功实现了90纳米製程的量產突破？”
“是的，我已经通过行业內的关係確认了这个消息的真实性。”
这个消息，对於半导体行业之外的人来说，或许只是一行冰冷的技术新闻。
但对於肖光楠这样的从业者而言，不啻於一声惊雷。
这意味著，在先进位程的赛道上，领跑者又一次拉开了与追赶者的距离。
马宇腾的声音再次响起，带著不容置疑的压迫感。
“我们不能永远停留在成熟製程上，靠著关联公司的订单过日子，那最后只会变成价格战的红海。”
“所以，我们的下一代製程研发，现在是怎样的情况?”
肖光楠深吸一口气，调出了另一份ppt。
这份ppt的標题是——“130纳米工艺製程研发进展”。
“马总，您的顾虑，我们已经意识到了。在保证现有生產任务的同时，技术部已经成立了专项攻关小组，进行130纳米製程的开发。”
肖光楠指著屏幕上的一张设备採购单。
“我们从尼康採购了一台nsr-s307e arf扫描式光刻机，这是开发130纳米工艺的关键设备。”
“之后，通过这台光刻机进行了新製程工艺的开发，只是良品率……”
马宇腾的目光落在报告的最后一页，那里有一张醒目的良率统计图。
那条代表著良率的曲线，在经歷了初期的几次小幅爬升后，就死死地停在了一个数字上，再也无法寸进。
百分之三十。
一个根本不具备任何商业量產价值的数字。
马宇腾抬起头，看著肖光楠，眼神平静，却仿佛能穿透人心。
“原因是什么？”
肖光楠的嘴唇动了动，镜片后的双眼流露出一丝技术人员面对难题时的凝重与无奈。
他走到白板前，调出了一张更为复杂的工艺流程图。
“问题是系统性的。”
他指著图上一个被红框標记出来的区域。
“这是在进行柵极刻蚀的环节。我们的180纳米用的是成熟的干法刻蚀。”
“但到了130纳米，线宽急剧缩小，等离子体对光刻胶的损伤变得非常严重，导致刻蚀后的柵极侧壁形貌控制不住，出现大量的『脚丫』缺陷。”
他又切换到另一张电子显微镜下的扫描图片，图片上，本该是笔直的线条，底部却出现了不规则的凸起，如同人的脚丫。
“我们尝试了调整刻蚀气体的配比，优化等离子体的功率，甚至更换了光刻胶的供应商，但效果都不理想。”
“还有铜互连工艺。”肖光楠的声音愈发沉重。
“130纳米开始，必须使用电阻率更低的铜来代替铝作为互连线。”
“但铜原子非常容易在硅片中扩散，造成器件失效。我们需要沉积一层足够致密且均匀的阻挡层，比如氮化鉭。”
“但我们新採购的尼康光刻机，和原有的pvd（物理气相沉积）设备，在工艺整合上出现了匹配问题。”
“老师傅们的经验都在原有的设备体系上，对於这套新的组合，他们也需要时间摸索。”
肖光楠一口气说了很多，全是专业的技术术语。
马宇腾安静地听著，没有打断。
他虽然不是半导体製造的专家，但凭藉著两世的知识储备和对產业链的理解，他能听懂肖光楠话里的核心。
缺的不是设备，也不是理论，而是將理论和设备结合起来，实现稳定大规模量產的实践经验。
也就是“know-how”。
这支从摩托罗拉继承过来的团队，在180纳米的阵地上是经验丰富的老兵。
但到了130纳米这条新的战壕里，他们也成了需要摸著石头过河的新兵。
而那些年轻的工程师，现在还处在“看”和“学”的阶段，指望他们解决这种级別的难题，无异於天方夜谭。
这就是雷霆晶片目前最大的瓶颈。
“所以，你们的结论是什么？”马宇腾问。
肖光楠沉默了片刻，似乎在组织语言。
他关掉了白板上的技术图表，转过身，郑重地看著马宇腾。
“马总，闭门造车是行不通的。半导体製程的提升，每一步都是在烧钱和烧时间。”
“我们或许花上一年，甚至更久的时间，也能把良率啃下来。但是，市场等不了我们那么久。”
他停顿了一下，拋出了自己的建议。
“据我所知，国內的东芯国际，他们的130纳米製程，早在两年前就已经实现了稳定量產，现在听说良率已经能做到百分之九十五以上，在国际上也属於是比较先进的水平。”
“我的建议是，我们是否可以尝试，以技术交流的名义，向他们『请教』。”
话音落下，办公室里陷入了长久的寂静。
马宇腾没有说话，只是端起那杯已经凉透了的纯净水，喝了一口。
向东芯国际请教？
好处是显而易见的。
这是解决当前困境最快、最高效的路径。直接跳过漫长的摸索期，让雷霆晶片的130纳米產线迅速具备战斗力。
但问题是，他们雷霆晶片与东芯国际是竞爭对手。
虽然目前他们目前的製程比对方要落后一代，业务交叉还不多。
但一个有志於成为国內晶片製造龙头的企业，会心甘情愿地去帮助竞爭对手提升製程工艺来与自己竞爭吗？
一丝若有若无的烦躁感在马宇腾心底升起。
就在这时，当东芯国际这个名字在他脑海中盘旋时，另一个名字，如同闪电般划过。
张如晶张老。
这个被誉为“中国半导体之父”的男人，以及他未来几年后在那场著名的东芯国际人事地震和与台积电官司中的黯然离场。
马宇腾的瞳孔猛地收缩了一下。
一瞬间，一个大胆的念头，在他心里轰然成型！
去见张如晶。
但目的，不再是单纯的为了130纳米的工艺。
在东芯国际还处於蓬勃发展，但內部矛盾已然在酝酿的此刻，提前与张老建立联繫。
等到未来那场风暴来临时，无论是捡漏那些经验丰富的顶尖工程师，还是承接对方动盪中散落的技术……
都大有可为！
想到这里，马宇腾心中那丝烦躁烟消云散。
他抬起头，看向依旧在等待他决断的肖光楠，表情已经恢復了平静。
“你说的有道理。”
“这件事，我会安排。”